보유장비
주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)
Usage
전사선이 시료와 반응하여 생성되는 2차전자를 검출하여 해당 시료의 표면을 관찰하는 기기입니다.
Spec.
- 모델명 : Quanta 200(FEI)
- 해상도 : 3.5nm(30kV, HV Mode), 3.5nm(30kV, ESEM Mode), 15nm (3kV, LV Mode)
- 배율 : 6 ~ 1,000,000 X (High and Low Vacuum Mode)
- 가속전압 : 200V~30kV
- 해상도 : 3.5nm(30kV, HV Mode), 3.5nm(30kV, ESEM Mode), 15nm (3kV, LV Mode)
- 배율 : 6 ~ 1,000,000 X (High and Low Vacuum Mode)
- 가속전압 : 200V~30kV
